中芯国际集成电路制造(北京)有限公司位于北京经济技术开发区,2004 年七月开始投产,为12 英寸芯片厂
2002年 1期废水处理系统: HF废水处理系统、 CMP研磨废水处理系统、 含Cu废水处理系统、酸碱废水处理系统
2007年 HF系统扩充
2015年 生活污水处理项目
2016年 脱水机扩充
其生产废水及处理工艺主要为:
1.中和系统进水PH:2~11,出水浓度PH;6~7.5。采用三级反应处理。
2.HF系统:进水浓度<1000ppm,出水浓度<5 ppm。采用两级处理,一级为钙盐混凝沉淀,二级为活性氧化铝吸附。
3.CMP系统采用两级处理,一级为混凝沉淀,二级为经过砂滤器、活性炭吸附器后再经UF深度处理后回用于冷却塔用水。
4.Ammonia系统:进水浓度<1200ppm,出水浓度<100 ppm。采用一级吹脱二级吸收处理。